| 構成 |
メーカー |
形式 |
対象部品 |
対象基板サイズ |
| 基板洗浄装置 |
化研テック |
MC4SHD-6E-KT |
― |
Min/50X50～Max/580X480 T/0.4～8.0 |
| メタルマスク洗浄装置 |
サワーコーポレーション |
SC-MM3-2 |
― |
Min/320X320～Max/750X750 |
| フィクチャレステスタ |
タカヤ |
APT-7400CT |
基板上40㎜ 下95㎜ |
Min/50X50～Max/540X460 T/0.8～5.0 |
| 外観検査機 |
ヤマハ |
Ysi-S |
基板上40㎜ 下80㎜ |
Min/50X50～Max/510X460 T/0.3～3.2 |
| 外観検査機 |
ヤマハ |
YSi-V |
基板上15㎜ |
Min/50X50～Max/610X560 T/0.3～4.0 |
| 外観検査機 |
マランツ |
L22XDL-650 |
基板上25㎜ 下30㎜ |
Min/50X50～Max/650X500 T/0.4～2.0 |
| 恒温槽 |
yamato |
DNE-600 |
― |
― |
| 窒素発生装置(1号機） |
日本エア・ウォーター |
KN4-30SP |
― |
― |
| 窒素発生装置(2号機） |
日本エア・ウォーター |
KN4-30SP |
― |
― |
| マックドライ |
― |
― |
― |
― |
